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  刻蝕,英文為Etch,它是半導體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟。是與光刻相聯系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。
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  公司擁有離子束刻蝕、深硅刻蝕、反應離子刻蝕、聚焦離子束等刻蝕技術,滿足對硅、氧化硅、氮化硅、金屬、石英等材料的刻蝕。

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